信息概要

微纳结构表面检测是针对微观与纳米尺度表面形貌、物理化学特性及功能性能的精密检测服务。该检测对象广泛应用于半导体、光学元件、生物医疗器件、新能源材料等高精尖领域。通过检测可确保产品表面结构的精度、均匀性及功能性，避免因微小缺陷导致的质量问题，对提升产品可靠性、优化生产工艺及满足行业标准具有重要意义。

检测项目

• 表面粗糙度
• 三维形貌分析
• 台阶高度测量
• 纳米级孔隙率
• 表面成分分析
• 接触角测量
• 薄膜厚度均匀性
• 表面残余应力
• 微观硬度
• 摩擦系数
• 粘附力测试
• 微观缺陷检测
• 晶格结构表征
• 表面能分布
• 光学反射率
• 耐腐蚀性评估
• 导热性能测试
• 导电性分析
• 磁畴结构观测
• 生物相容性验证

检测范围

• 微机电系统（MEMS）器件
• 纳米涂层材料
• 光栅结构器件
• 集成电路封装表面
• 微流体芯片
• 纳米压印模板
• 光学透镜阵列
• 太阳能电池表面
• 生物传感器表面
• 超疏水材料
• 纳米线/纳米管阵列
• 量子点薄膜
• 微纳模具表面
• 金属增材制造件
• 柔性电子器件
• 纳米多孔材料
• 光子晶体结构
• 微针阵列贴片
• 石墨烯基材料
• 抗菌功能表面

检测方法

• 原子力显微镜（AFM）：纳米级表面形貌与力学性能分析
• 扫描电子显微镜（SEM）：微观形貌与成分的高分辨率成像
• 白光干涉仪：非接触式三维表面形貌测量
• X射线光电子能谱（XPS）：表面元素化学态分析
• 聚焦离子束（FIB）：微区截面制备与结构分析
• 纳米压痕测试：微米/纳米尺度硬度与弹性模量测量
• 拉曼光谱：材料晶体结构与应力分布表征
• 接触角测量仪：表面润湿性定量评估
• 椭偏仪：薄膜厚度与光学常数测定
• 激光共聚焦显微镜：亚微米级三维形貌重建
• 透射电子显微镜（TEM）：原子级结构观察
• 动态力学分析（DMA）：粘弹性行为测试
• 热重分析（TGA）：表面涂层热稳定性检测
• 电化学项目合作单位：表面耐腐蚀性能评估
• 红外光谱（FTIR）：表面官能团与化学键分析

检测仪器

• 原子力显微镜
• 扫描电子显微镜
• 白光干涉仪
• X射线衍射仪
• 纳米压痕仪
• 激光共聚焦显微镜
• 椭偏仪
• X射线光电子能谱仪
• 聚焦离子束系统
• 透射电子显微镜
• 拉曼光谱仪
• 接触角测量仪
• 动态力学分析仪
• 三维表面轮廓仪
• 电化学项目合作单位

了解中析

实验室仪器

合作客户